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1600 Czochralski Monocrystal Growth Furnace
1600低氧型单晶炉 SC-1600-III
 
低氧型单晶炉是一种在惰性气体(氩气、氮气)情形中 ,用石墨加热器将多晶硅熔化 ,运用奇异的拉晶工艺 ,用直拉法生长无错位低氧含量单晶的装备。
  • 36吋热场拉制N10氧含量控制规模

    6-7ppm

  • 一律条件下 ,同心圆泛起

氧含量降低40%
通过松瓷奇异降氧计划设计 ,可有用降低单晶硅棒氧含量40% ,有用提升N型210电池片效率0.1%-0.2%
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