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气相沉积装备LPCVD MM650
 
低压化学气相沉积装备,工艺成熟，稳固，较早用于TOPcon电池量产的LPCVD装备。

 

 

产能：

9400PCS/小时@182*182电池

产线平均良率较高，镀膜匀称性好；
自有专利的布气系统，增添了流场匀称性和可控性
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